工業混合氣體在半導體中的使用簡寫

用化學氣相淀積的方式在選用的襯底上生長一層或多層材料所用的氣體稱為外延（生長）氣體。

所謂外延就是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。

常用的硅外延氣體有——硅烷、四氯化硅、二氯二氫硅等等。其主要作用于外延硅淀積、氧化硅膜淀積、氮化硅膜淀積，太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。